轴向二极场MWECR－CVD系统等离子体特性的实验研究

作     者：叶超 宁兆元 甘肇强 

作者机构：苏州大学物理系薄膜材料实验室 

出 版 物：《核聚变与等离子体物理》 (Nuclear Fusion and Plasma Physics)

年 卷 期：1995年第15卷第4期

页      码：43-48页

摘      要：本实验设计了永磁非对称轴向二极场ＭＷＥＣＲ－ＣＶＤ系统，并对系统的等离子体特性进行了研究，获得了等离子体空间分布的图像以及气压对等离子体参数的影响。

主 题 词：轴向二极场 ECD 等离子体 空间分布 CVD 

学科分类：08[工学] 080501[080501] 0805[工学-能源动力学] 

核心收录：

D　O　I：10.16568/j.0254-6086.1995.04.008

馆 藏 号：203103942...