双面曝光机中观察对准显微镜的机械设计

作     者：高仰月 

作者机构：电子工业部第四十五研究所 

出 版 物：《电子工业专用设备》 (Equipment for Electronic Products Manufacturing)

年 卷 期：1998年第27卷第1期

页      码：26-28页

摘      要：扼要介绍了适用于双面曝光观察对准显微镜的结构设计，并对双面观察对准的独特性和技术难点进行了剖析，成功地解决了该系统不能整体调焦的难题，使该系统在Ｚ向不移动的情况下达到了调焦和齐焦的目的。

主 题 词：观察对准 双管镜齐焦 双面曝光机 显微镜 设计 

学科分类：080903[080903] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080501[080501] 0805[工学-能源动力学] 080502[080502] 0803[工学-仪器类] 

馆 藏 号：203104054...