高精度PSD线性化方法与实验研究

作     者：李博 高艺 王红平 曹国华 柳常清 LI Bo;GAO Yi;WANG Hongping;CAO Guohua;LIU Changqing

作者机构：长春理工大学机电工程学院长春130022 

基　　金：吉林省科技厅青年科研基金项目(201101099) 

出 版 物：《长春理工大学学报（自然科学版）》 (Journal of Changchun University of Science and Technology(Natural Science Edition))

年 卷 期：2013年第36卷第1期

页      码：36-39页

摘      要：为了提高位置敏感探测器(PSD)的测量精度,减少其非线性带来的误差,设计了基于微位移平台的在线数据采集与校定装置,提出了基于BP神经网络的非线性校正算法,进行了数据采集和线性化实验研究,并对线性化结果进行了误差仿真分析。实验结果表明,设计的线性化算法真实有效,采用该方法校正后PSD的最大线性度误差为3.3μm,大幅减小了PSD的非线性,在不增加成本和设备复杂度的前提下大幅提高了PSD的测量精度和数据置信度,具有很高的实用价值。

主 题 词：二维PSD 微位移平台 非线性校正 人工神经网络 

学科分类：12[管理学] 1201[管理学-管理科学与工程类] 081104[081104] 08[工学] 0835[0835] 0811[工学-水利类] 0812[工学-测绘类] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1672-9870.2013.01.010

馆 藏 号：203104119...