压电陶瓷用于纳米定位系统的研究

作     者：王建林 胡小唐 杨勇 张国君 

作者机构：天津大学精密仪器与光电子工程学院 

基　　金：国家科委基础研究基金 国家教委"跨世纪优秀人才计划"基金 

出 版 物：《航空精密制造技术》 (Aviation Precision Manufacturing Technology)

年 卷 期：1997年第33卷第2期

页      码：8-10页

摘      要：压电陶瓷PZT用于纳米定位系统的研究，给出了一种二维纳米定位机构和有效消除压电陶瓷压电误差的方法，设计了闭环数字控制系统．实验表明：该定位系统行程10μm,定位精度10nm，定位分辨率达2nm．

主 题 词：压电陶瓷 柔性铰链 纳米定位 闭环数字控制系统 

学科分类：08[工学] 0802[工学-机械学] 080201[080201] 

馆 藏 号：203104185...