对称双悬臂梁结构MEMS微波功率传感器研究

作     者：左文 刘琪才 张聪淳 王德波 ZUO Wen;LIU Qicai;ZHANG Congchun;WANG Debo

作者机构：南京邮电大学电子与光学工程学院、微电子学院南京210023 

基　　金：国家青年自然科学基金资助项目(61704086) 中国博士后科学基金资助项目(2017M621692) 江苏省博士后基金资助项目(1701131B) 南京邮电大学国自基金孵化资助项目(NY215139,NY217039) 

出 版 物：《微电子学》 (Microelectronics)

年 卷 期：2021年第51卷第3期

页      码：418-423页

摘      要：为了提升电容式MEMS微波功率传感器的测量灵敏度,本文充分利用传感器的内部空间结构,提出了一种基于对称双悬臂梁结构的电容式微波功率传感器。根据对称式双梁结构的特点,建立了对称双悬臂梁结构的枢纽式机电模型。研究和分析了对称双悬臂梁结构的测量灵敏度和过载功率。实验结果表明,在悬臂梁初始间距相同的条件下,对称双梁结构的测量灵敏度相较传统单梁结构提高了3倍;同时,通过改变悬臂梁的初始间距,可以实现较大范围内传感器测量灵敏度与过载功率两项指标的折中与转化,以满足更加广泛的设计需求。

主 题 词：MEMS 对称双悬臂梁 功率传感器 灵敏度 

学科分类：080202[080202] 08[工学] 0802[工学-机械学] 

D　O　I：10.13911/j.cnki.1004-3365.200339

馆 藏 号：203104195...