新型静电驱动双向平动MEMS变形镜(英文)

作     者：姚军 陶逢刚 任豪 汪为民 庄须叶 YAO Jun;TAO Feng-gang;REN Hao;WANG Wei-min;ZHUANG Xu-ye

作者机构：中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室成都610209 中国科学院研究生院北京100039 

基　　金：国家自然科学基金资助项目(60978051) 四川青年科学基金资助项目(2011JQ0047) 西部之光博士资助项目(A11K011) 

出 版 物：《纳米技术与精密工程》 (Nanotechnology and Precision Engineering)

年 卷 期：2012年第10卷第4期

页      码：313-317页

摘      要：设计了一种新型静电驱动双向平动的MEMS变形镜,其结构包括3部分:中央下电极,4个静电驱动杠杆结构以及反射镜面(上电极).该变形镜有两种驱动模式:向下驱动模式和向上驱动模式.在向上驱动时,4个杠杆结构实现了位移的放大;向下驱动时,利用了非线性弹性系数法扩展了镜面的平动范围.采用表面硅工艺完成了变形镜的加工.通过白光干涉仪对变形镜的测试表明:在向上驱动模式下,变形镜在驱动电压为31 V时位移达到1.1μm;在向下驱动模式下,变形镜在6 V的驱动电压下位移达到1.1μm.变形镜的总行程为2.2μm,达到了同样工艺下传统变形镜的3倍左右.

主 题 词：双向平动 MEMS 变形镜 杠杆驱动器 

学科分类：0817[工学-轻工类] 08[工学] 0807[工学-电子信息类] 080401[080401] 0804[工学-材料学] 080402[080402] 0802[工学-机械学] 0703[理学-化学类] 0811[工学-水利类] 0801[工学-力学类] 

核心收录：

D　O　I：10.3969/j.issn.1672-6030.2012.04.006

馆 藏 号：203104221...