电容式加速度计系统的非线性分析及线性化控制

作     者：范达 刘云峰 董景新 

作者机构：清华大学精密仪器与机械学系精密测试技术及仪器国家重点实验室北京100084 

基　　金：国家十二五预研基金资助项目(51309020301) 

出 版 物：《中国惯性技术学报》 (Journal of Chinese Inertial Technology)

年 卷 期：2012年第20卷第6期

页      码：734-738页

摘      要：电容式静电力反馈加速度计只有在敏感质量工作于对称点位置附近微小范围内时,系统可以近似成为线性系统。但由于敏感表头的加工误差以及振动使得加速度计的质量块会偏移量过大,从而非线性将表现明显。针对加速度计系统非线性的两个主要来源,对非线性引起的失稳现象及振动过程中发生的输出直流成分漂移现象的原因进行了分析说明,并提出一种利用反函数将系统完全线性化后再进行校正网络设计的控制方法.仿真结果表明这种方法可以改善系统的稳定性且克服振动漂移。

主 题 词：电容式加速度计 振动漂移 系统线性化 非线性反函数 

学科分类：08[工学] 081105[081105] 0802[工学-机械学] 0825[工学-环境科学与工程类] 0811[工学-水利类] 

核心收录：

D　O　I：10.3969/j.issn.1005-6734.2012.06.023

馆 藏 号：203104239...