叠加电桥检测的加速度传感器设计

作     者：宋小鹏 杜春晖 葛晓洋 何常德 张文栋 SONG Xiao-peng;DU Chun-hui;GE Xiao-yang;HE Chang-de;ZHANG Wen-dong

作者机构：中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室山西太原030051 中北大学电子测试技术重点实验室山西太原030051 

基　　金：国际科技合作项目(61011140351) 

出 版 物：《传感器与微系统》 (Transducer and Microsystem Technologies)

年 卷 期：2013年第32卷第4期

页      码：106-108,112页

摘      要：基于压阻效应的叠加电桥检测法加速度传感器采用超对称"八悬臂梁—质量块"结构,构成惠斯通电桥的力敏电阻器布放在悬臂梁的两端,4个惠斯通电桥的输出电压叠加后作为传感器的最终输出,有效提高了加速度传感器的灵敏度。通过数学建模仿真分析验证了方案的可行性。性能测试结果表明:该加速度计的灵敏度为1.1381mV/gn,频响范围为0～1000Hz,灵敏度约为单电桥检测法和串联电桥检测法加速度传感器灵敏度的4倍。叠加电桥检测法为压阻式传感器提高灵敏度提供了一种新思路。

主 题 词：加速度传感器 MEMS 压阻式 叠加电桥检测 

学科分类：08[工学] 080401[080401] 0804[工学-材料学] 081102[081102] 0811[工学-水利类] 

核心收录：

D　O　I：10.3969/j.issn.1000-9787.2013.04.031

馆 藏 号：203104249...