垂直扫描白光干涉仪用柔性铰链的设计及应用

作     者：徐丽平 崔长彩 XU Liping;CUI Changcai

作者机构：华侨大学机电及自动化学院福建厦门361021 黎明职业大学机电工程与自动化学院福建泉州362000 

基　　金：国家自然科学基金项目(51075160) 

出 版 物：《黎明职业大学学报》 (Journal of LiMing Vocational University)

年 卷 期：2013年第3期

页      码：71-73页

摘      要：根据垂直扫描白光干涉仪的结构参数,设计了其系统中微位移定位机构的柔性铰链,并应用Ansys对其性能进行有限元分析。分析结果显示,该柔性铰链的性能能够满足垂直扫描白光干涉仪的工作要求。

主 题 词：垂直扫描 白光干涉仪 柔性铰链 有限元分析 

学科分类：08[工学] 080203[080203] 0802[工学-机械学] 

D　O　I：10.13446/j.cnki.jlvu.001115

馆 藏 号：203104275...