金刚石线锯切割碳化硅陶瓷的机理与工艺研究

作     者：陈勇彪 张松辉 张晓红 尉迟广智 段佳 蒋如意 周莹英 CHEN Yongbiao;ZHANG Songhui;ZHANG Xiaohong;YUCHI Guangzhi;DUAN Jia;JIANG Ruyi;ZHOU Yingying

作者机构：湖南科美达电气股份有限公司湖南岳阳414022 湖南理工学院机械工程学院湖南岳阳414006 

基　　金：国家自然科学基金(51875200) 湖南省自然科学基金(2020JJ4334) 

出 版 物：《金刚石与磨料磨具工程》 (Diamond & Abrasives Engineering)

年 卷 期：2021年第41卷第3期

页      码：60-67页

摘      要：通过金刚石线锯切割碳化硅陶瓷的单因素试验设计,研究线速度、进给速度、进给速度与线速度比值R等工艺参数对其表面质量的影响规律,并通过超景深三维显微镜、精密粗糙度轮廓仪对其表面形貌、表面粗糙度进行观察和测量。结果表明:当线速度从0.4 m/s增加到1.3 m/s时,碳化硅陶瓷的表面形貌明显改善,进给方向和线锯方向的表面粗糙度分别下降了20.35%和10.45%;当进给速度从6μm/s增加到24μm/s时,其表面形貌由好转差,进给方向与线锯方向的表面粗糙度分别上升了12.07%和3.91%;当进给速度与线速度增加但两者比值R固定为2×10-5时,碳化硅陶瓷的表面质量基本维持在同一水平。

主 题 词：金刚石线锯 碳化硅陶瓷 表面形貌 表面粗糙度 线速度 进给速度 

学科分类：080503[080503] 081702[081702] 08[工学] 0817[工学-轻工类] 0805[工学-能源动力学] 0802[工学-机械学] 080201[080201] 

D　O　I：10.13394/j.cnki.jgszz.2021.3.0009

馆 藏 号：203104286...