双面接触式电容压力传感器的设计及制造工艺流程

作     者：许高攀 陈广文 胡国清 李志博 

作者机构：厦门大学机电工程系福建省厦门市361005 

出 版 物：《仪表技术与传感器》 (Instrument Technique and Sensor)

年 卷 期：2001年第9期

页      码：33-35页

摘      要：双面接触式电容压力传感器除了具有单面接触式电容压力传感器的优点 ,还有它的特别之处 :双面接触式电容压力传感器被施加同样的压力时 ,可以得到比单面接触式电容压力传感器增大一倍的电容量和灵敏度 ,而且不会因此增加多少成本 ;工作时可靠性更高 ,即使一面失灵还有另一面可以正常工作。文中就双面接触式电容压力传感器的工艺进行了初步设计。

主 题 词：双面接触式电容压力传感器 工艺流程 自停止腐蚀 设计 制造 

学科分类：080202[080202] 08[工学] 0802[工学-机械学] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1002-1841.2001.09.013

馆 藏 号：203104626...