空间三自由度微定位平台设计及优化

作     者：李长齐 王菡 罗昊 LI Changqi;WANG Han;LUO Hao

作者机构：保山学院信息学院云南保山678000 马来西亚博特拉大学马来西亚吉隆坡43400 

基　　金：云南省教育厅科学研究基金资助项目(2020J0699) 

出 版 物：《传感器与微系统》 (Transducer and Microsystem Technologies)

年 卷 期：2021年第40卷第8期

页      码：65-67,72页

摘      要：耦合位移直接影响微定位平台输出精度。控制空间微定位平台耦合位移可以有效提高平台的输出精度。通过控制误差补偿的方式消除微定位平台耦合位移,平台的驱动方式采用压电驱动。基于卡氏定理计算出微定位平台输出端输出位移;利用ANSYS软件对微定位平台的柔性铰链进行尺寸优化,并对优化后的微定位平台进行仿真分析。最后,对理论计算数值和仿真分析数值进行对比。通过对微定位平台的研究,得出所设计平台具有高定位精度,低耦合位移,大行程的优势,为同类微定位平台的研究提高借鉴。

主 题 词：微定位平台 位移放大 耦合位移 有限元分析 误差补偿 

学科分类：08[工学] 080202[080202] 080203[080203] 0802[工学-机械学] 

D　O　I：10.13873/J.1000-9787(2021)08-0065-03

馆 藏 号：203104651...