近红外光谱传感物联网研究与应用进展

作     者：王绪泉 王丽丽 方家熊 Wang Xuquan;Wang Lili;Fang Jiaxiong

作者机构：中国科学院上海技术物理研究所传感技术联合国家重点实验室上海200083 山东大学光学高等研究中心山东青岛266237 中国科学院大学北京100049 

基　　金：国家自然科学基金(62075229) 安徽省科技重大专项(S202003a06020001) 山东省重点研发计划(2019GGX104003) 传感技术联合国家重点实验室开放课题(SKT1907) 

出 版 物：《中国激光》 (Chinese Journal of Lasers)

年 卷 期：2021年第48卷第12期

页      码：317-327页

摘      要：通过在感知层中加入定制化的微型光谱感知节点,近红外(NIR)光谱传感物联网(IoT)实现了NIR光谱分析技术和IoT技术的集成应用,进而可以满足IoT感知层中对物质成分传感的应用需求。近年来,中国科学院上海技术物理研究所依托成熟的InGaAs焦平面探测器技术,与山东大学联合,在NIR光谱传感IoT的研究和应用上取得了良好进展。首先,介绍了NIR光谱传感IoT的系统架构和关键技术。接着,为了实现光谱感知节点的微型化设计,重点介绍了集成多通道滤光片和集成线性渐变滤光片的两种微型光谱组件结构及其波长定标方法,并结合制备工艺对光谱组件的性能展开对比和分析。最后,基于集成式光谱组件,进一步介绍了NIR光谱感知节点、云服务器和手机客户端的研究应用情况,并对NIR光谱传感IoT的未来发展进行展望。

主 题 词：近红外光谱学 焦平面探测器 铟镓砷 线性渐变滤光片 物联网 

学科分类：080901[080901] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080401[080401] 0804[工学-材料学] 0803[工学-仪器类] 

核心收录：

D　O　I：10.3788/CJL202148.1210001

馆 藏 号：203104721...