单偏置电压多位分布式MEMS传输线移相器

作     者：邓成 鲍景富 杜亦佳 凌源 赵兴海 郑英彬 Deng Cheng;Bao Jing fu;Du Yi jia;Ling Yuan;Zhao Xing hai;Zheng Ying bin

作者机构：电子科技大学电子工程学院成都611731 中国工程物理研究院电子工程研究所四川绵阳621900 

基　　金：国家自然科学基金委员会和中国工程物理研究院联合基金资助项目(11176006) 国家部委基金项目(9140A23070311DZ0210) 中国工程物理研究院科学技术发展基金资助项目(2008A0403016) 

出 版 物：《微纳电子技术》 (Micronanoelectronic Technology)

年 卷 期：2012年第49卷第2期

页      码：102-107页

摘      要：针对传统多位分布式MEMS传输线(DMTL)移相器需要多个偏置电压控制的问题,提出了一种单电压控制多位DMTL移相器的设计方案。这种移相器的每一位具有不同的弹性系数,因此它们的下拉电压各不相同。给出了这种移相器的相关理论、设计实例及仿真结果。通过仿真结果可知,单偏置电压3位DMTL移相器低位到高位的下拉电压分别为19.73,40.49和74.89 V,低位发生下拉时高位相移偏移小于0.062%(10 GHz,2.925×10-4 rad)。单偏置电压4位DMTL移相器低位到高位的下拉电压分别为19.73,32.55,48.41和74.89 V,低位发生下拉时高位相移偏移小于0.094%(10 GHz,4.425×10-4 rad)。

主 题 词：射频微机电系统(RFMEMS) 分布式MEMS传输线移相器 下拉电压 单偏置电压 相移偏移 

学科分类：080903[080903] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080401[080401] 0804[工学-材料学] 081102[081102] 0811[工学-水利类] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1671-4776.2012.02.006

馆 藏 号：203104763...