悬臂梁阀单腔压电泵设计方法研究

作     者：赵明丽 黄琴 张玮 李欣欣 ZHAO Ming-li;HUANG Qin;ZHANG Wei;LI Xin-xin

作者机构：吉林化工学院吉林132022 吉林省产品质量监督检验院吉林长春130022 吉林大学吉林长春130025 

基　　金：国家863资助项目(No.2002AA404250) 

出 版 物：《光学精密工程》 (Optics and Precision Engineering)

年 卷 期：2006年第14卷第4期

页      码：607-611页

摘      要：给出了悬臂梁阀单腔压电泵的理论分析，根据压电振子与流体耦合的理论，建立了压电泵系统的动态模型。分析了流体质量、输出压力和系统阻尼对压电泵最佳工作频率的影响，认为减小腔体高度可以提高压电泵的最佳工作频率，提高压电泵的稳定性。通过分析压电振子结构参数对变形量的影响规律，确定了振子的最佳结构参数，认为压电陶瓷层与金属基板厚度比取0．45～0．55，直径比取0．8～0．9最佳。研究了压电泵出流形式对压电泵输出能力的影响，认为轴向出流有利于提高压电泵的输出能力。

主 题 词：压电泵 悬臂梁阀 压电陶瓷 压电振子 

学科分类：080903[080903] 080704[080704] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 0807[工学-电子信息类] 080501[080501] 0805[工学-能源动力学] 080502[080502] 

核心收录：

D　O　I：10.3321/j.issn:1004-924X.2006.04.015

馆 藏 号：203104822...