微型无源无线压力传感器及其系统设计

作     者：张劲弓 赵明 孙旭光 李彤 刘春秀 薛宁 ZHANG Jingong;ZHAO Ming;SUN Xuguang;LI Tong;LIU Chunxiu;XUE Ning

作者机构：中国科学技术大学微电子学院安徽合肥230026 中国科学院空天信息创新研究院传感器技术国家重点实验室北京100190 中国人民解放军总医院第四医疗中心神经外科北京100048 

基　　金：国家重点研发计划资助项目(2019YFC200028) 国家自然科学基金资助项目(61774157,81771388,61802363) 北京自然科学基金资助项目(4182075) 

出 版 物：《传感器与微系统》 (Transducer and Microsystem Technologies)

年 卷 期：2021年第40卷第9期

页      码：71-73,77页

摘      要：无线传感器系统可以基于感应耦合原理为植入设备无线供电并通过外部接收器测量生理信息相关参数。所设计的无线压力感测系统包括两个模块:无线无源压力传感器和传感器外部无线读出系统。基于三种混合比的聚二甲基硅氧烷(PDMS)制造了双线圈配置的LC谐振电感耦合压力传感器装置,用于传感器频率-压力特性测试。完成了传感器外部读出电路的构建,电路能够识别阻抗曲线的峰值。测量结果表明:所设计的装置实现了2 cm的合适测量距离,并且对于25︰1混合比制备的PDMS压力传感器,在0~40 N的压力范围内,传感器的灵敏度约为-14.5 kHz/N。

主 题 词：无线传感器 电感耦合 读出系统 聚二甲基硅氧烷 

学科分类：080802[080802] 0808[工学-自动化类] 080202[080202] 08[工学] 0802[工学-机械学] 

D　O　I：10.13873/J.1000-9787(2021)09-0071-03

馆 藏 号：203104834...