基于石英的声表面波宽量程气压传感器研究

作     者：李学玲 王文 范淑瑶 程利娜 高旭 胡梵冰 LI Xueling;WANG Wen;FAN Shuyao;CHENG Lina;GAO Xu;HU Fanbing

作者机构：中国科学院声学研究所北京100190 中国科学院大学北京100190 

基　　金：国家重点研发计划基金资助项目(2018YFB2002500) 国家自然科学基金委联合重点基金资助项目(U1837209) 

出 版 物：《压电与声光》 (Piezoelectrics & Acoustooptics)

年 卷 期：2021年第43卷第4期

页      码：435-438,442页

摘      要：该文提出了一种面向航天航空飞行器宽量程压力检测的声表面波(SAW)传感器的设计方法。在Y切石英晶体上,利用半导体平面工艺设计并制作了单端对谐振型传感器,在此基础上,通过石英干法刻蚀工艺制备了压力参考腔,并构建了全石英封装的面压式传感结构。利用搭建的气压测试平台,对制备的SAW传感器性能进行测试,测试结果表明,传感器在0~3.6 MPa量程内获得了1.36 kHz/MPa的检测灵敏度,并表现出良好的线性度。

主 题 词：声表面波 气压传感器 单端对谐振器 宽量程 全石英封装 

学科分类：080903[080903] 080801[080801] 0808[工学-自动化类] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080501[080501] 0805[工学-能源动力学] 080502[080502] 

D　O　I：10.11977/j.issn.1004-2474.2021.04.001

馆 藏 号：203104843...