具有寄生电阻消除功能的远端测温芯片

作     者：翟世崇 李文昌 吴鸿昊 刘剑 鉴海防 Zhai Shichong;Li Wenchang;Wu Honghao;Liu Jian;Jian Haifang

作者机构：中国科学院半导体研究所北京100083 中国科学院大学北京100049 

基　　金：北京市科技计划项目(Z191100010618001) 

出 版 物：《半导体技术》 (Semiconductor Technology)

年 卷 期：2021年第46卷第9期

页      码：680-685页

摘      要：设计并流片实现了一款具有寄生电阻消除功能的远端测温芯片。分析了远端测温原理和寄生电阻对测温精度的影响,利用差分结构采集远端三极管产生的温度信号。采用一阶Σ-Δ模数转换器(ADC)将温度信号进行量化,并使用寄生电阻消除技术降低寄生电阻对测温精度的影响。该芯片采用0.18μm BCD工艺设计并流片,测试结果表明,当远端三极管在-40℃下,使用寄生电阻消除技术可以将1.5 kΩ寄生电阻对测温精度的影响降低到0.5℃以内;远端三极管在-40~125℃温度范围内,消除寄生电阻影响后远端测温芯片的3σ误差小于±0.6℃。

主 题 词：远端测温芯片 双极型晶体管 寄生电阻消除 Σ-Δ调制器 模数转换器(ADC) 

学科分类：080903[080903] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080202[080202] 0802[工学-机械学] 

D　O　I：10.13290/j.cnki.bdtjs.2021.09.003

馆 藏 号：203104857...