气质联用仪在六氟化硫杂质痕量分析中的应用

作     者：于洋 任越 YU Yang;REN Yue

作者机构：中昊光明化工研究设计院有限公司辽宁大连116031 

出 版 物：《低温与特气》 (Low Temperature and Specialty Gases)

年 卷 期：2021年第39卷第4期

页      码：47-50页

摘      要：通过实验阐明了气质联用在气体分析中的应用,对气体中不同浓度六氟化硫的线性、数据重复性以及灵敏度进行考察,确定了气质联用仪对气体中六氟化硫杂质痕量分析的可靠性。

主 题 词：气质联用 气体分析 六氟化硫 

学科分类：081704[081704] 07[理学] 08[工学] 0817[工学-轻工类] 070302[070302] 0703[理学-化学类] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1007-7804.2021.04.011

馆 藏 号：203104877...