外延阻挡杂质带探测器的抗反射

作     者：王超 姚尧 文政绩 郝加明 胡古今 戴宁 WANG Chao;YAO Yao;WEN Zheng-Ji;HAO Jia-Ming;HU Gu-Jin;DAI Ning

作者机构：中国科学院上海技术物理研究所红外物理国家重点实验室上海200083 中国科学院大学北京100049 上海师范大学数理学院物理系上海200234 国科大杭州高等研究院物理与光电工程学院浙江杭州310024 江苏省光伏科学与工程协同创新中心江苏常州213164 

基　　金：国家重点研发计划(2017YFA0205800) 国家自然科学基金(11933006,61805060,61290304) 

出 版 物：《红外与毫米波学报》 (Journal of Infrared and Millimeter Waves)

年 卷 期：2021年第40卷第4期

页      码：459-464页

摘      要：传统外延阻挡杂质带探测器由于其材料物性和特殊的结构设计存在很强的反射,这些能量损失非常不利于器件的探测性能。报道了一种类光栅双层超构表面微结构阵列,并将此人工微结构引入到外延阻挡杂质带红外探测器以抑制对入射光的反射。实验结果显示,具有超构表面微结构阵列的器件在波长30μm处反射率低于3%,在25.3∼32.2μm波段范围内反射率低于20%。同时,该超表面减反微结构对入射光的偏振还具有很强的选择性,符合第四代焦平面发展需求。

主 题 词：阻挡杂质带 红外探测器 减反 双层超表面 

学科分类：08[工学] 0803[工学-仪器类] 0702[理学-物理学类] 

核心收录：

D　O　I：10.11972/j.issn.1001-9014.2021.04.004

馆 藏 号：203104885...