宽谱段相移干涉多自由度采集系统设计与分析

作     者：蔡娅雯 张庆君 刘杰 张玥 刘久利 CAI Yawen;ZHANG Qingjun;LIU Jie;ZHANG Yue;LIU Jiuli

作者机构：中国空间技术研究院遥感卫星总体部北京100084 

基　　金：十三五航天预研基金(D010102) 

出 版 物：《应用光学》 (Journal of Applied Optics)

年 卷 期：2021年第42卷第5期

页      码：775-781页

摘      要：为了满足现代工业领域中对复杂结构产品的高精度多自由度测量需求,构建了多自由度联合采集系统模型。建立了宽谱段相移干涉多自由度采集系统模型,并对系统中的光学部件进行了设计;以相移干涉技术为基础,提出了多自由度联合测量算法,并分析验证了所设计系统的合理性;根据仪器的物理和光学参数对算法进行了具体实现,基于Simulink的仿真试验结果表明:深度测量精度在μm级,测量范围在m级;光谱检测分辨率在nm级,测量带宽300 nm,覆盖整个可见光区域,光谱准确度为0.2 nm,误差率小于0.1%。该系统满足了现代工业精密测量中高深度分辨率、宽深度测量范围、高光谱准确度、高光谱分辨率的要求。

主 题 词：相移干涉 精密测量 深度采集 光谱采集 

学科分类：080901[080901] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080401[080401] 0804[工学-材料学] 0803[工学-仪器类] 

D　O　I：10.5768/JAO202142.0501003

馆 藏 号：203104887...