聚变堆第一壁材料溅射装置真空系统设计研究

作     者：王俊儒 余耀伟 曹斌 庄会东 胡建生 WANG Jun-ru;YU Yao-wei;CAO Bin;ZHUANG Hui-dong;HU Jian-sheng

作者机构：中国科学院合肥物质科学研究院等离子体物理研究所安徽合肥230031 中国科学技术大学安徽合肥230026 

基　　金：中科院重大科技基础设施开放研究项目(长脉冲运行中实时抑制钨表面溅射的实验研究) 国家重点研发项目(2017YFE0301100)资助 

出 版 物：《真空》 (Vacuum)

年 卷 期：2021年第58卷第5期

页      码：32-36页

摘      要：直线等离子体装置(Linear Plasma Device,LPD)是研究托卡马克上边界等离子体与材料相互作用的重要平台。本文针对新建LPD的真空系统设计研制开展了相关研究。该真空系统设计为两级隔断式结构,等离子体放电和材料预处理可以在各自真空腔室同步进行、互不干扰。通过真空测试实验,真空控制系统运行稳定,短时间烘烤后系统极限真空达1.4×10^(-5)Pa,满足LPD对洁净真空环境的要求。

主 题 词：材料溅射实验装置 材料辐照 真空系统 抽速 

学科分类：08[工学] 082701[082701] 0827[工学-食品科学与工程类] 

D　O　I：10.13385/j.cnki.vacuum.2021.05.04

馆 藏 号：203104970...