快速并行激光显微切割方法

作     者：黄彩虹 谢佳豪 易定容 康玉思 庄凤江 Huang Caihong;Xie Jiahao;Yi Dingrong;Kang Yusi;Zhuang Fengjiang

作者机构：华侨大学信息科学与工程学院厦门361021 华侨大学机电及自动化学院厦门361021 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所长春130031 

基　　金：福建省自然科学基金(2020J02005) 福建省教育厅科研课题(JAT170033)项目资助 

出 版 物：《仪器仪表学报》 (Chinese Journal of Scientific Instrument)

年 卷 期：2021年第42卷第8期

页      码：115-121页

摘      要：针对传统激光显微切割采用单激光焦点与工件相对运动形成加工轨迹,存在切割效率低、切割轨迹首尾不易闭合等局限性,提出基于数字微镜器件的无机械运动激光显微切割方法。通过调控数字微镜阵列,对激光光束的振幅进行调控,配合光路设计在样品区域得到任意的光场强度分布,实现强度近乎相同的面投影并行切割。阐述了关键参数设计、模拟仿真、系统搭建过程。先对聚酯薄膜进行直线、空心圆环、空心矩形等多种图案的切割,再对冷冻切片的细胞组织进行切割。实验表明,通过一次投影并行切割可设计的图案化结构,目标图形准确,切割效率高。在20×物镜下,最小切割线宽达到亚微米,最小圆环直径小于单细胞直径。该方法可为提高激光显微切割系统的效率和精度提供新思路和新方向。

主 题 词：激光显微切割 数字微镜器件 激光加工 

学科分类：08[工学] 0803[工学-仪器类] 

核心收录：

D　O　I：10.19650/j.cnki.cjsi.J2107713

馆 藏 号：203105000...