可自动消除NG竖线缺陷的Mura检测机设计探究

作     者：毛继禹 薛凤明 承小辉 徐铮 MAO Jiyu;XUE Fengming;CHENG Xiaohui

作者机构：北京京东方显示技术有限公司北京100176 

出 版 物：《科技创新与应用》 (Technology Innovation and Application)

年 卷 期：2021年第11卷第28期

页      码：13-16页

摘      要：目前TFT-LCD行业CF基板的宏观缺陷出现后是无法修补的,当缺陷的特定值超过Spec,Glass上相应的Panel就会被判为Panel NG。每天会有很多Panel因为宏观品质NG掉。而所有的宏观缺陷中,竖线Mura所占到的比率最高。文章提出一种可消除NG竖线的Mura检测机的设计探究。新型的Mura检测机可通过新设计的“探针单元”确定竖线区域膜厚的高低,再利用“竖线处理单元”对竖线进行处理,并根据“图像对比单元”的数据对比进行结果确认或再修改,快速将此竖线的特性值处理为Spec内,使得此缺陷不会导致Panel NG。这就使得CF基板的OK比率有了大幅度的提高,为公司节约了大量的成本,更重要的是实现了CF基板宏观缺陷的修补。

主 题 词：NG竖线 Mura检测机 图像对比 

学科分类：080901[080901] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 

D　O　I：10.19981/j.cn23-1581/g3.2021.28.005

馆 藏 号：203105015...