扫描电镜高温成像干扰分析及图像修复方法研究

作     者：唐亮 刘陵恩 徐晋勇 张宜旭 王永峰 张跃飞 张泽 TANG Liang;LIU Ling-en;XU Jin-yong;ZHANG Yi-xu;WANG Yong-feng;ZHANG Yue-fei;ZHANG Ze

作者机构：桂林电子科技大学机电工程学院广西桂林541004 北京工业大学固体微结构与性能研究所北京100124 浙江大学材料科学与工程学院浙江杭州310027 

基　　金：国家自然科学基金基础科学中心项目(No.51988101) 北京市教委科技计划重点项目(No.KZ202110005006) 

出 版 物：《电子显微学报》 (Journal of Chinese Electron Microscopy Society)

年 卷 期：2021年第40卷第5期

页      码：601-608页

摘      要：扫描电子显微镜(SEM)真空腔室内原位加热实验,当温度超过700℃以后,受到热电子的影响,导致扫描电子显微镜扫描成像质量下降,具体表现为产生条纹状的亮纹。针对这一问题,开展对扫描电子显微镜二次电子探测系统及二次电子成像的分析与研究,详细论述了高温下干扰扫描电子显微镜二次电子成像质量的影响因素,并设计出扫描电子显微镜的二次电子成像调节以及图像修复系统。该系统可分为热电子检测、扰动数据获取、图像修复等部分,采用电位检测并实时修改亮纹对应位置的亮度,可实现对被热电子干扰的图像进行主动的亮度补偿,从而实现图像修复的目的。实验结果表明,当样品温度达到1000℃后扫描电镜仍能获得清晰的二次电子图像信息。

主 题 词：扫描电镜 二次电子 图像修复 热电子 

学科分类：08[工学] 080401[080401] 0804[工学-材料学] 080502[080502] 0805[工学-能源动力学] 0803[工学-仪器类] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1000-6281.2021.05.017

馆 藏 号：203105057...