信息处理微系统的发展现状与未来展望

作     者：唐磊 匡乃亮 郭雁蓉 刘莹玉 TANG Lei;KUANG Nailiang;GUO Yanrong;LIU Yingyu

作者机构：西安微电子技术研究所陕西西安710054 

出 版 物：《微电子学与计算机》 (Microelectronics & Computer)

年 卷 期：2021年第38卷第10期

页      码：1-8页

摘      要：受中美国际关系的影响,一段时间内,集成电路工艺制程可能难以突破;同时,先进半导体工艺将带来高昂的集成电路开发成本,已经不适应于军用信息处理领域的发展需求.信息处理微系统可在微纳尺度集成各种成熟技术,通过系统优化设计,一定程度摆脱半导体工艺及器件代差的制约与跟仿,提高质量水平的前提下大幅缩短研制周期,解决装备的自主可控和研制效率问题.本文调研了信息处理微系统技术的国内外研究现状,提炼并总结了该技术的特点,从互连接口与协议、封装技术以及质量控制等方面分析了面临的挑战;从设计、工艺、测试和可靠性四个方面对信息处理微系统的研究趋势进行了展望,并提出了发展建议.

主 题 词：信息处理 微系统 硅通孔 先进封装 异构集成 

学科分类：080903[080903] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 

D　O　I：10.19304/J.ISSN1000-7180.2021.1098

馆 藏 号：203105066...