海洋洋流/潜流测量热分布型微纳流速传感器

作     者：车啸婷 贾治森 王振宇 管轶华 郜晚蕾 金庆辉 Che Xiaoting;Jia Zhisen;Wang Zhenyu;Guan Yihua;Gao Wanlei;Jin Qinghui

作者机构：宁波大学信息科学与工程学院浙江宁波315211 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室上海200050 

基　　金：国家自然科学基金资助项目(61871243) 

出 版 物：《微纳电子技术》 (Micronanoelectronic Technology)

年 卷 期：2021年第58卷第11期

页      码：1005-1013页

摘      要：设计并仿真了一种利用介质热传递原理工作的流速传感器,适用于低流速区域的海洋洋流/潜流流速测量。通过物理场仿真软件COMSOL对传感器进行了热-流体的耦合场模拟仿真分析,验证了设计传感器的可行性。采用微电子机械系统(MEMS)加工技术制备了以玻璃为衬底的微纳热分布型流速传感器,加热和测温电阻均采用铂电阻传感器。传感器芯片尺寸仅为10 mm×10 mm,测温电阻与中心加热电阻的间距分别为1和2 mm,完成了芯片的封装及测试。通过实验与分析得出流速和不同间距测温电阻的电压之间的变化关系曲线。两种不同测温电阻和中心加热电阻间距的传感器,可测量的最大流速分别为265和315 mm/s。

主 题 词：流速传感器 微纳传感器 微电子机械系统(MEMS) 热敏电阻 海洋洋流/潜流 

学科分类：080202[080202] 08[工学] 0802[工学-机械学] 

D　O　I：10.13250/j.cnki.wndz.2021.11.009

馆 藏 号：203105128...