立式氧化炉中气流场的仿真设计与分析

作     者：万喜新 邓斌 姬常晓 李苹 

作者机构：中国电子科技集团公司第四十八研究所湖南长沙410111 

出 版 物：《新型工业化》 (The Journal of New Industrialization)

年 卷 期：2021年第11卷第8期

页      码：219-221页

摘      要：为解决立式氧化炉气流场存在的技术难点,提高晶圆氧化膜的厚度均匀性;采用流体力学仿真方法,建立炉体工艺管气流场数学和仿真模型,并分析流速分布规律;针对环形流动造成的炉内流速分布不均的问题,通过在炉顶安装多孔薄板以优化炉体结构并进行仿真分析。仿真结果表明:增设孔板有利于改善炉内同一横截面和竖直方向的气流场均匀性。

主 题 词：立式氧化炉 仿真模型 气流场 多孔挡板 

学科分类：120201[120201] 12[管理学] 1202[管理学-工商管理类] 

D　O　I：10.19335/j.cnki.2095-6649.2021.8.102

馆 藏 号：203105142...