高量程MEMS加速度计的热应力仿真与可靠性评估

作     者：秦丽 于丽霞 石云波 王孟美 冯恒振 QIN Li;YU Li-xia;SHI Yun-bo;WANG Meng-mei;FENG Heng-zhen

作者机构：中北大学电子测试技术重点实验室太原030051 中北大学仪器与电子学院太原030051 中北大学信息与通信工程学院太原030051 

基　　金：山西省自然科学基金(2014011021-5) 电子测试技术重点实验室基金(9140C12040515X) 

出 版 物：《中国惯性技术学报》 (Journal of Chinese Inertial Technology)

年 卷 期：2015年第23卷第4期

页      码：555-560页

摘      要：硅压敏电阻阻值漂移过大导致输出失效是高量程MEMS加速度计在恶劣温度环境下工作的主要失效模式之一。通过模拟仿真加速度计悬臂梁、芯片结构和封装后整体模型的热应力分布情况,确定了压敏电阻所在结构梁区域是最容易失效的位置,且最大热应力分布在芯片梁与质量块倒角处,其值约为107 N/m2;通过设计的高温加速恒定应力试验验证了加速度计的温度敏感特性,根据试验数据的特征采用三种可靠度评估方法定量外推出高量程MEMS加速度计在规定应力条件下的可靠度指标。研究结果表明,加速性能退化试验和基于退化量的可靠性评估方法适用于高量程MEMS加速度计在温度环境中的可靠性研究,能够利用有限的试验数据获得可信度较高的评估结果。

主 题 词：高量程MEMS加速度计 阻值漂移 热应力仿真 加速试验 可靠度评估 

学科分类：08[工学] 081105[081105] 0802[工学-机械学] 0825[工学-环境科学与工程类] 0811[工学-水利类] 

核心收录：

D　O　I：10.13695/j.cnki.12-1222/o3.2015.04.025

馆 藏 号：203105207...