压阻式高固有频率Z轴加速度敏感结构

作     者：揣荣岩 代全 王健 梁峭 衣畅 CHUAI Rong-yan;DAI Quan;WANG Jian;LIANG Qiao;Yi Chang

作者机构：沈阳工业大学信息科学与工程学院辽宁沈阳110870 沈阳仪表科学研究院有限公司辽宁沈阳110043 

基　　金：国家自然科学基金资助项目(61372019) 

出 版 物：《仪表技术与传感器》 (Instrument Technique and Sensor)

年 卷 期：2015年第9期

页      码：4-7页

摘      要：基于微机电系统(MEMS)技术的加速度传感器因其性价比高、易于集成化而得到广泛应用,但在普通MEMS加速度敏感结构中仍然存在灵敏度和固有频率相互制约的弱点。为此,文中优化设计了一种压阻式新型加速度敏感结构,该结构在弹性梁加质量块的基本结构上引入了敏感微梁,在保证高灵敏度的同时,显著提高了固有频率。其灵敏度与固有频率的乘积可比普通MEMS加速度计提高25倍以上。

主 题 词：加速度传感器 压阻式 高固有频率 微梁 多晶硅纳米膜 MEMS 

学科分类：080202[080202] 08[工学] 0802[工学-机械学] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1002-1841.2015.09.002

馆 藏 号：203105298...