CrN基复合薄膜研究进展

作     者：关晓艳 赵美艳 史镐荣 王志新 张留学 GUAN Xiao-yan;ZHAO Mei-yan;SHI Hao-rong;WANG Zhi-xin;ZHANG Liu-xue

作者机构：中原工学院材料与化工学院郑州450007 

基　　金：国家自然科学基金项目(51805557) 河南省高等学校重点科研项目(19A430030) 中原工学院青年人才创新能力基金项目(K2018QN017) 

出 版 物：《表面技术》 (Surface Technology)

年 卷 期：2021年第50卷第10期

页      码：80-93页

摘      要：主要综述了Cr N基多元复合薄膜、多层薄膜及多元多层复合薄膜的研究进展,详细叙述了多元复合、多层结构设计及多元多层复合设计对薄膜力学性能、摩擦学性能和耐腐蚀性能的影响,并重点阐述了薄膜的腐蚀机理及其耐磨损机制。指出了多元复合、多层结构设计和多元多层复合设计,均可一定程度上提高Cr N薄膜的力学性能、耐磨损性能和耐腐蚀性能。一般而言,多元多层设计可通过非晶/纳米晶微观结构调控、晶粒细化、界面强化、提高致密度、降低内应力等,使复合薄膜呈现出优异的耐腐蚀和耐磨损性能。最后对CrN基复合薄膜的发展及应用前景进行了展望,表明CrN基复合薄膜将继续朝着多元多层复合化、纳米多层化及超晶格等方向发展,其制备技术也更加多元复合化。随着Cr N基复合薄膜综合性能的不断提高,其应用领域也将更加广泛。

主 题 词：CrN基复合薄膜 摩擦学性能 耐腐蚀性能 多元复合 多层结构 多元多层复合 

学科分类：080503[080503] 08[工学] 0805[工学-能源动力学] 

核心收录：

D　O　I：10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2021.10.008

馆 藏 号：203105365...