2μm激光探测器的设计和制备

作     者：石柱 王鸥 SHI Zhu;WANG Ou

作者机构：西南技术物理研究所成都610041 

出 版 物：《红外与激光工程》 (Infrared and Laser Engineering)

年 卷 期：2006年第35卷第Z5期

页      码：37-42页

摘      要：通过分析2μm波长的差分吸收雷达(DIAL)用于测量大气气象参数和 CO_2分布等测量对激光探测器的技术要求,介绍了相应的2μm波长光电二极管探测器的技术指标。根据该指标进行了器件的材料、材料结构和器件结构设计。其外延材料采用了 In_(1-x)Ga_xAs_yP_(1-y)系列结构。为了减小暗电流和噪声,器件结构借用InGaAs 雪崩管的分离吸收区和倍增区结构,把 PN 结放在具有宽带隙的 InAs_(1-y)P_y 中,光吸收在窄带隙的In_(1-x)Ga_xAs 中。最后,简略介绍了该器件的制备工艺和技术。

主 题 词：2μm 激光 探测器 设计 制备 

学科分类：080901[080901] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080401[080401] 0804[工学-材料学] 0803[工学-仪器类] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1007-2276.2006.z5.008

馆 藏 号：203105390...