电容式微机械加速度计闭环系统的零偏

作     者：吴天准 董景新 刘云峰 WU Tianzhun;DONG Jingxin;Liu Yunfeng

作者机构：清华大学精密仪器与机械学系北京100084 

基　　金：国家"十五"科技攻关项目(41308050103) 

出 版 物：《清华大学学报（自然科学版）》 (Journal of Tsinghua University(Science and Technology))

年 卷 期：2005年第45卷第2期

页      码：201-204页

摘      要：为解释电容式微加速度计闭环系统零点不惟一的特殊现象,对其力学模型和电路特性进行理论分析,推导了闭环输出、零偏、零偏重复性、检测盲区宽度等公式,建立新的静平衡模型。通过零偏与预载的关系实验,定量分析了零偏不重合度、零偏重复性等,并对实验数据进行误差分析。该静平衡模型揭示了动齿的运动规律,证明检测盲区宽度和零偏重复性成正比,成功解释了两个零点问题。指出提高零偏重复性指标的方法,对于微机械结构的设计、预载的选择也具有指导意义。

主 题 词：电容式微加速度计 微机电系统 闭环系统 检测盲区 零偏 零偏重复性 

学科分类：0810[工学-土木类] 08[工学] 080401[080401] 0804[工学-材料学] 0805[工学-能源动力学] 0701[理学-数学类] 081102[081102] 0811[工学-水利类] 0812[工学-测绘类] 

核心收录：

D　O　I：10.3321/j.issn:1000-0054.2005.02.016

馆 藏 号：203105454...