单质量块的单轴集成惯性测量器件的设计

作     者：马宗敏 石云波 刘俊 MA Zong-min;SHI Yun-bo;LIU Jun

作者机构：中北大学电子测试技术国家重点实验室中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室太原030051 加州伯克利大学机械工程系伯克利USA CA94720 

基　　金：新世纪优秀人才支持计划资助(NCET-04-0259) 

出 版 物：《传感技术学报》 (Chinese Journal of Sensors and Actuators)

年 卷 期：2008年第21卷第4期

页      码：600-603页

摘      要：介绍了一种单质量块的单轴集成惯性测量器件的结构,提出一种可以利用一个敏感头同时测量某一方向加速度和陀螺信号的集成测量结构形式;同时建立了单轴集成测量器件的模型,并运用计算机辅助软件对其进行仿真,对惯性测量器件的加速度信号和陀螺信号的产生及仿真进行了阐述;最后,为了保证器件有高的成品率,对测量器件的版图进行了优化设计和修改;为了保证高的检测精度,还就测量器件的后续处理电路进行了研究。

主 题 词：单轴集成 建模 仿真 版图 处理电路 

学科分类：0808[工学-自动化类] 0809[工学-计算机类] 080202[080202] 08[工学] 0802[工学-机械学] 0811[工学-水利类] 

核心收录：

D　O　I：10.3969/j.issn.1004-1699.2008.04.017

馆 藏 号：203105561...