基于嵌入技术的光学元件表面疵病在线检测研究

作     者：洪耀球 占俊 HONG Yaoqiu;ZHAN Jun

作者机构：景德镇学院信息工程学院江西景德镇333000 

基　　金：国家自科基金地区科学基金项目(No.41761012) 

出 版 物：《激光杂志》 (Laser Journal)

年 卷 期：2021年第42卷第10期

页      码：162-166页

摘      要：为提高光学元件表面的检测精度,提出基于嵌入技术的光学元件表面疵病在线检测方法。硬件部分:采用嵌入式的系统开发技术,结合传感器设计,建立光学元件表面疵病在线检测的A/D、D/A总线协议。软件部分:采用嵌入式的传感器识别技术,感知光学元件表面疵病的信息,结合边缘及纹理检测技术,识别光学元件表面纹理信息,提取纹理的差异性特征,实现对光学元件表面疵病点的准确定位和检测。通过实验结果得知,该方法能有效实现光学元件表面疵病在线检测,检测的精度较高,定位的均方根误差平均为0.085,整体性能较优越。

主 题 词：嵌入技术 光学元件 表面疵病 在线检测 

学科分类：08[工学] 0803[工学-仪器类] 

D　O　I：10.14016/j.cnki.jgzz.2021.10.162

馆 藏 号：203105759...