一种低损耗射频MEMS器件测试夹具设计研究

作     者：王耀利 张凯旗 张翀 程亚昊 韩路路 Wang Yaoli;Zhang Kaiqi;Zhang Chong;Cheng Yahao;Han Lulu

作者机构：中北大学电气与控制工程学院太原030051 中北大学微系统集成研究中心太原030051 中北大学信息与通信工程学院太原030051 中北大学仪器与电子学院太原030051 

出 版 物：《国外电子测量技术》 (Foreign Electronic Measurement Technology)

年 卷 期：2021年第40卷第9期

页      码：106-110页

摘      要：射频MEMS开关以及以开关为基础的射频MEMS器件是应用于5G通信中的重要组成部分。随着通信技术的发展,多种类射频MEMS器件得到广泛应用,定期对生产批次射频MEMS器件进行筛选和检测成为关键。目前射频MEMS器件性能的快速无损检测,依旧是行业内没有很好解决的难题。以铜制弹片为媒介,针对表面贴装式集成封装射频器件,设计高性能、高精度、快速无损伤测试夹具。通过对测试夹具进行多次仿真和实验,证实测试夹具测试射频器件频率可达2 GHz并且测试夹具本身损耗很低。

主 题 词：测试夹具 弹片 射频MEMS器件 

学科分类：080902[080902] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 

D　O　I：10.19652/j.cnki.femt.2102775

馆 藏 号：203105765...