扫描镜设计与精度分析

作     者：汪逸群 颜昌翔 贾平 Wang Yiqun;Yan Changxiang;Jia Ping

作者机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所长春130033 中国科学院研究生院北京100039 

基　　金：国防预研基金(编号:O5001SA050)资助项目 

出 版 物：《电子测量与仪器学报》 (Journal of Electronic Measurement and Instrumentation)

年 卷 期：2012年第26卷第12期

页      码：1062-1068页

摘      要：为了满足高光谱成像仪对地运动补偿的需求,设计了一套扫描镜装置并详细分析了扫描镜的运动精度。首先,介绍了扫描镜的运动补偿原理和性能指标要求,据此给出了基于步进电机与谐波减速器的扫描镜驱动方案。接着描述了驱动模块、镜子支撑、轴系及控制电路等子系统的设计方案,然后分析计算了扫描镜的位置精度和速度精度,最后得出了位置精度优于1′,速度精度3.4%～5.2%的结论。试验结果表明:扫描镜位置精度达到40″,而扫描镜速度精度为5.3%。扫描镜运动精度满足高光谱成像仪的成像需求。

主 题 词：扫描镜 运动补偿 速度精度 谐波减速器 步进电机 

学科分类：080901[080901] 0809[工学-计算机类] 080202[080202] 08[工学] 080401[080401] 0804[工学-材料学] 0802[工学-机械学] 0803[工学-仪器类] 

D　O　I：10.3724/SP.J.1187.2012.01062

馆 藏 号：203105772...