砷烷纯化的进展

作     者：巩晓辉 任少科 苏耀华 张澈 方建朝 GONG Xiaohui;REN Shaoke;SU Yaohua;ZHANG Che;FANG Jianchao

作者机构：中昊光明化工研究设计院有限公司辽宁大连116031 

出 版 物：《低温与特气》 (Low Temperature and Specialty Gases)

年 卷 期：2021年第39卷第5期

页      码：11-13页

摘      要：以砷化锌为原料制备砷烷(AsH_(3))是制备砷烷的一种重要途径,高纯度AsH_(3)作为一种常用的电子特气在半导体集成电路中发挥着重要的作用,并广泛应用于太阳能电池和其他有机砷化物的合成,具有一定研究基础和重要的工业价值。在过去的几十年里,在AsH_(3)的纯化上取得了重大进展。文章对砷烷纯化进行了简要的总结,包括提纯原料、设备设计和产品提纯,同时对AsH_(3)纯化的发展前景做出了展望。

主 题 词：砷烷 半导体 纯化 

学科分类：081702[081702] 08[工学] 0817[工学-轻工类] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1007-7804.2021.05.004

馆 藏 号：203105784...