浅谈超纯氩气工艺流程设计

作     者：董涛 苏耀华 蔡晋 任少科 姜涛 张宏雷 高天龙 DONG Tao;SU Yaohua;CAI Jin;REN Shaoke;JIANG Tao;ZHANG Honglei;GAO Tianlong

作者机构：中昊光明化工研究设计院有限公司辽宁大连116031 

出 版 物：《低温与特气》 (Low Temperature and Specialty Gases)

年 卷 期：2021年第39卷第5期

页      码：26-27,37页

摘      要：对超纯氩气的工艺流程设计进行了探讨,包括低温泵、汽化器的选型,纯化器、充装位及真空系统的设计等。

主 题 词：超纯氩气 工艺流程 设计 

学科分类：081702[081702] 08[工学] 0817[工学-轻工类] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1007-7804.2021.05.008

馆 藏 号：203105813...