透明导电薄膜(Ⅲ):TCO/M/TCO三层透明导电薄膜

作     者：闫彩波 周艳文 粟志伟 王鼎 杨东明 YAN Caibo;ZHOU Yanwen;WANG Ding;YANG Dongming

作者机构：辽宁科技大学材料与冶金学院辽宁鞍山114051 

基　　金：国家自然科学基金(51972155、51672119、51372109、51172101及50872048) 辽宁科技大学大学生创新创业训练计划(202010146001S) 

出 版 物：《辽宁科技大学学报》 (Journal of University of Science and Technology Liaoning)

年 卷 期：2021年第44卷第4期

页      码：241-248页

摘      要：TCO/M/TCO三层透明导电薄膜具有可见光区透光率高、导电性好且超薄的特点,适用于包括柔性基底在内的电子器件的透明导电电极。本文阐述三层透明导电氧化物/金属/透明导电氧化物(TCO/M/TCO)薄膜透光导电原理,厚度设计及其对光电性能的影响,金属层的选择及作用机制,溅射氛围和后处理工艺对薄膜性能的影响。

主 题 词：透明导电薄膜 TCO/M/TCO 金属夹层 减反增透 光电性能 

学科分类：080903[080903] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080501[080501] 0805[工学-能源动力学] 080502[080502] 

D　O　I：10.13988/j.ustl.2021.04.001

馆 藏 号：203105829...