MEMS射频同轴线的仿真与工艺研究

作     者：高荣惠 赵龙 崔建利 张斌珍 GAO Rong-hui;ZHAO Long;CUI Jian-li;ZHANG Bin-zhen

作者机构：中北大学电子测试技术重点实验室山西太原030051 

基　　金：国家自然科学基金资助项目(61401405) 国家自然科学基金资助项目(51475438) 山西省基础研究项目(2014011021-4) 新世纪优秀人才支持计划资助项目(130951862) 

出 版 物：《中北大学学报（自然科学版）》 (Journal of North University of China(Natural Science Edition))

年 卷 期：2015年第36卷第6期

页      码：713-718页

摘      要：以SU-8方形柱作为支撑衬底,初步设计中心频率为38GHz空气填充的微型矩形同轴线,通过HFSS电磁仿真软件对设计的结构进行模拟仿真与优化,并结合实际加工工艺和测试条件,最终确定中心同轴的横截面为200μm×200μm,外壁内表面的横截面为500μm×500μm,对支撑衬底尺寸进行最优化模拟仿真,确定SU-8矩形支撑衬底宽度为200μm.采用SU-8紫外光刻工艺并结合铜的电镀工艺进行微型同轴线结构的加工.利用微波探针测试台对其传输性能进行测试,测试结果显示该微型同轴线在中心频率处回波损耗S11在-30dB以下,插入损耗S12参数为-0.3dB.该工艺方法加工的同轴传输线具有带宽大、介质损耗小、辐射损耗小和抗干扰强等优点,可用于高性能射频和微波电路.另外,它的制作工艺可与其他射频和微波器件及集成电路工艺兼容,便于与射频和微波电路集成.

主 题 词：同轴传输线 光刻 电镀 SU-8 RF MEMS 

学科分类：08[工学] 080401[080401] 0804[工学-材料学] 081102[081102] 0811[工学-水利类] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1673-3193.2015.06.020

馆 藏 号：203105916...