反射镜基片无损伤清洗技术研究

作     者：张晋宽 白满社 滕霖 ZHANG Jin-kuan;BAI Man-she;TENG Lin

作者机构：航空工业西安飞行自动控制研究所西安710065 

出 版 物：《航空精密制造技术》 (Aviation Precision Manufacturing Technology)

年 卷 期：2021年第57卷第5期

页      码：1-3,8页

摘      要：本文以抛光表面模型为理论,分析了基片表面损伤产生的机理,设计正交实验,得出了基片表面损伤产生的主要因素。通过改进清洗工艺,制备出了无损伤的超光滑表面。

主 题 词：无损伤清洗 亚表面损伤 超光滑表面 反射镜 

学科分类：080903[080903] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080501[080501] 0805[工学-能源动力学] 080502[080502] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1003-5451.2021.05.001

馆 藏 号：203105922...