X波段T/R组件键合金丝的自动检测技术

作     者：马美铭 禹胜林 张杰 王雨壮 周为荣 Ma Meiming;Yu Shenglin;Zhang Jie;Wang Yuzhuang;Zhou Weirong

作者机构：南京信息工程大学电子与信息工程学院南京210000 

出 版 物：《电子测量技术》 (Electronic Measurement Technology)

年 卷 期：2021年第44卷第17期

页      码：118-122页

摘      要：X波段T/R组件中,键合金丝的数量、长度、拱高、跨距、焊点位置等参数会对微波传输特性产生严重的影响。通过自动检测技术实现上述参数的自动检测,可以推断出X波段T/R组件键合质量是否合格。基于变焦显微测量技术,通过自主设计的图像采集平台,获取到键合金丝的一组图像,然后通过多聚焦图像融合、聚焦评价等图像处理技术,实现了键合金丝的拱高和跨度的微米级测量,测量结果相对误差小于0.7%。该方法该技术有利于提高金丝键合成品质量的检测效率,提高X波段T/R组件的生产效率。

主 题 词：T/R组件 键合金丝 变焦显微测量 模板匹配 多聚焦图像融合 聚焦评价 

学科分类：08[工学] 081101[081101] 0811[工学-水利类] 081102[081102] 

D　O　I：10.19651/j.cnki.emt.2107067

馆 藏 号：203106287...