自动化离子注入设备控制系统的研究与设计

作     者：周波 佘鹏程 罗超 ZHOU Bo;SHE Pengcheng;LUO Chao

作者机构：中国电子科技集团公司第四十八研究所湖南长沙410111 

出 版 物：《电子工业专用设备》 (Equipment for Electronic Products Manufacturing)

年 卷 期：2021年第50卷第5期

页      码：11-15,38页

摘      要：研究了离子注入设备的结构组成和工艺流程,介绍了设备控制系统的架构和功能设计思路。利用有限状态机中的层级状态机思路,建立了晶圆传输设备的个体行为分层模型,作为控制系统的基础,并且建立了强时序性的逻辑调度任务状态模型。通过获取系统运行晶圆数量及工艺顺序,模拟晶圆的运行路径,以系统工艺时间效率为评价标准,采用分段调度策略寻找最优路径的方法,设计了一套自动上下料的控制系统。

主 题 词：离子注入 晶圆传输 有限状态机 分段调度策略 

学科分类：080903[080903] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080501[080501] 0805[工学-能源动力学] 080502[080502] 

馆 藏 号：203106297...