分布式老炼试验电源监视系统的研制

作     者：彭浩 李伟 周晓黎 桂明洋 宋瑛 Peng Hao;Li Wei;Zhou Xiaoli;Gui Mingyang;Song Ying

作者机构：中国电子科技集团公司第十三研究所石家庄050051 国家半导体器件质量监督检验中心石家庄050051 空军装备部驻石家庄地区军事代表室石家庄050000 河北工业职业技术学院环境与化学工程系石家庄050091 

出 版 物：《半导体技术》 (Semiconductor Technology)

年 卷 期：2021年第46卷第12期

页      码：986-991页

摘      要：针对国内半导体检测机构老炼试验大规模依赖于人工的现状,研制了一种基于TCP/IP网络的分布式半导体器件老炼试验电源监视系统,介绍了系统结构和功能的设计方案,详细说明了具体实现方式和关键技术,包括多类型电源通信兼容性、接口转换与电磁隔离、通信速率优化和属性化任务管理等相关实现方案。该电源监视系统提高了半导体器件老炼试验的信息化水平,在降低成本的同时显著提升了试验质量,通过该系统可以监测器件正常老化、电源功能异常和夹具状态异常等试验过程数据,为设备维护和夹具设计提供了依据。该分布式老炼试验电源监视系统已应用于某半导体检测机构的可靠性试验系统中。

主 题 词：半导体器件 可靠性试验 老炼试验 分布式系统 网络技术 信息化系统 

学科分类：080903[080903] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080501[080501] 0805[工学-能源动力学] 080502[080502] 

D　O　I：10.13290/j.cnki.bdtjs.2021.12.013

馆 藏 号：203106302...