散射式扫描近场光学显微系统的研制及应用测试

作     者：陈楠 王玥 刘涛 夏洋 CHEN Nan;WANG Yue;LIU Tao;XIA Yang

作者机构：中国科学院微电子研究所北京100029 中国科学院大学北京100049 北京市微电子制备仪器设备工程技术研究中心北京100029 集成电路测试技术北京市重点实验室北京100029 

基　　金：国家自然科学基金重大科研仪器研制专项(No.61427901) 国家重点研发计划(No.2018YFA0704804) 中国科学院科研装备研制项目(No.YJKYYQ20180033) 

出 版 物：《光子学报》 (Acta Photonica Sinica)

年 卷 期：2021年第50卷第11期

页      码：195-203页

摘      要：基于扫描探针技术设计搭建了一套散射式扫描近场光学显微系统。基于搭建的系统结构和近场信号探测原理,理论分析和实验讨论了不同因素的干扰、解调阶次、聚焦光斑等因素对近场光学信号提取的影响。为进一步验证装置性能,对纳米金颗粒和机械剥离的六方氮化硼样品进行了测试。结果表明,所搭建的装置实现了10 nm的空间分辨率,可以清晰地观察到六方氮化硼表面声子极化激元在传播-反射过程中形成的驻波现象,展示了该技术在低维纳米材料光学表征中应用的巨大应用潜力。

主 题 词：散射式扫描近场光学显微镜 扫描探针技术 近场光学 衍射极限 超分辨 

学科分类：070207[070207] 07[理学] 08[工学] 0803[工学-仪器类] 0702[理学-物理学类] 

核心收录：

D　O　I：10.3788/gzxb20215011.1111001

馆 藏 号：203106395...