微机械加工中恒温腐蚀系统的设计研究

作     者：罗伟栋 牛文成 张福海 那兴波 

作者机构：南开大学信息学院微电子学系天津300071 

基　　金：天津市自然科学基金资助项目(003600611) 

出 版 物：《南开大学学报（自然科学版）》 (Acta Scientiarum Naturalium Universitatis Nankaiensis)

年 卷 期：2003年第36卷第3期

页      码：86-89,104页

摘      要：本文设计了一个恒温腐蚀系统,用于微机械加工制作中的腐蚀工艺.系统装备了冷凝回流与加热搅拌装置,保证了腐蚀过程中,腐蚀液浓度的稳定与均匀;特殊设计的加热设备,提高了热量的利用效率.同时,采用内藏式温度传感器和基于模糊专家系统的温度控制算法,使腐蚀系统的温度控制更加精确、灵活.与传统水浴恒温相比,不仅使用方便,而且提高了腐蚀的效率与质量.

主 题 词：腐蚀系统 恒温控制 模糊专家系统 

学科分类：080903[080903] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080501[080501] 0805[工学-能源动力学] 080502[080502] 

核心收录：

D　O　I：10.3969/j.issn.0465-7942.2003.03.018

馆 藏 号：203106443...