单层声表面波叉指换能器(SAW-IDT)结构优化设计

作     者：王自平 费跃 钱磊 薛显 Karthik Reddy Wang Ziping;Fei Yue;Qian Lei;Xue Xian;Karthik Reddy

作者机构：江苏大学土木工程与力学学院高端装备关键结构健康管理国际联合研究中心江苏镇江212013 北卡罗莱纳州立大学机械与航空航天工程系美国罗利27606 

基　　金：National Natural Science Foundation of China(11872191,11520101001) Postgraduate Research&Practice Innovation Program of Jiangsu Province(KYCX20_3073) 

出 版 物：《稀有金属材料与工程》 (Rare Metal Materials and Engineering)

年 卷 期：2021年第50卷第11期

页      码：3917-3923页

摘      要：为优化单层声表面波换能器的驱动性能,改善现有δ函数分析方法在计算过程中的不足之处,采用有限元仿真优化方法对叉指式换能器的静力学性能进行了分析,研究了支路电极宽度w、电极间距s和基片厚度t对驱动性能的影响。仿真结果表明,当w/t=0.7时,可以得到最佳应变响应;当s/t>3.2时,可以得到最大应变。同时还得出了电极间距越小,驱动电压越低的结论。根据仿真优化结果制备了声表面波叉指换能器(SAW-IDT),并进行了频率响应测试。研究结果为声表面波叉指换能器的制备、性能测试和应用提供了指导。

主 题 词：叉指换能器 结构优化设计 驱动性能 

学科分类：08[工学] 0804[工学-材料学] 

核心收录：

馆 藏 号：203106522...