MEMS惯性开关的原理及研究进展

作     者：任超 刘峰华 付博 康兴国 丁桂甫 杨卓青 REN Chao;LIU Feng-hua;FU Bo;KANG Xing-guo;DING Gui-fu;YANG Zhuo-qing

作者机构：上海交通大学微米/纳米加工技术国家级重点实验室上海200240 西安机电信息技术研究所陕西西安710065 淮海工业集团有限公司MEMS中心山西长治046012 

基　　金：国家重点研发计划(2020YFB2008503) 装备预研教育部联合基金(6141A02022424) 国家自然科学基金项目(61974088) 

出 版 物：《测控技术》 (Measurement & Control Technology)

年 卷 期：2021年第40卷第11期

页      码：16-32页

摘      要：MEMS惯性开关是一种无源电子器件,集传感器与执行器为一体,具有尺寸小、制造成本低、可批量生产等多种优点,在玩具、汽车电子、物联网和军事等领域有着广泛的应用前景。由于惯性开关具有在未触发状态时待机功耗为零的特点,其在远程监控等电量有限的应用场景下有着明显的优势。介绍了MEMS惯性开关的基本物理模型和工作原理,并对影响器件工作效果的重要性能参数进行了分析。根据器件的导通方式、接触增强的设计方法、开关的敏感冲击方向和敏感的阈值大小,对国内外研究的惯性开关进行了分类和阐述。此外,还讨论了MEMS惯性开关的微加工工艺和测试。对MEMS惯性开关器件进行了相应的总结和展望,为之后的研究提供了参考。

主 题 词：MEMS惯性开关 物理模型 研究进展 微加工工艺 测试方法 

学科分类：080801[080801] 0808[工学-自动化类] 080202[080202] 08[工学] 0802[工学-机械学] 

D　O　I：10.19708/j.ckjs.2021.02.219

馆 藏 号：203106526...