环烯烃共聚物表面减反膜的制备及其可靠性研究

作     者：付秀华 李俊纬 张功 张静 金海俊 李爽 Fu Xiuhua;Li Junwei;Zhang Gong;Zhang Jing;Jin Haijun;Li Shuang

作者机构：长春理工大学光电工程学院吉林长春130022 光驰科技(上海)有限公司上海200444 

出 版 物：《中国激光》 (Chinese Journal of Lasers)

年 卷 期：2021年第48卷第24期

页      码：58-66页

摘      要：高分子材料以其优异的性能,近年来得到了广泛的应用。以一种新型高分子材料环烯烃共聚物为基底,设计并研制了400~700 nm波段的减反射膜。根据薄膜热应力理论分析了材料特性,选择ZrO_(2)作为黏结层,研究了等离子体处理时间对基底表面微观结构以及化学组成的影响。通过优化工艺参数和增加基底表面的活性,提高了基底与黏结层的结合力,再通过过渡层将黏结层与镀层结合,解决了薄膜与基底热膨胀系数不匹配的问题。采用镀后离子束轰击技术解决了恒温恒湿时的膜裂问题。测试结果表明,减反射膜在400~700 nm波段的平均反射率为0.117%,且具备良好的耐环境性能。

主 题 词：薄膜 光学薄膜 环烯烃共聚物 热应力 等离子体处理 离子束轰击 

学科分类：08[工学] 0804[工学-材料学] 080501[080501] 0805[工学-能源动力学] 

核心收录：

D　O　I：10.3788/CJL202148.2403003

馆 藏 号：203106838...